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技術(shù)特點
空間光調(diào)制技術(shù)
動態(tài)掃描技術(shù)
實時聚焦
高產(chǎn)能、高精度
易用性強
操作簡單
設(shè)備參數(shù)
最小線寬:500nm
線寬均勻性:50nm
套刻精度:150nm
網(wǎng)格精度:25nm
拼接誤差:100nm
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