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適用制程:內(nèi)、外層
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技術(shù)特點
多拼板功能
高解析、高智能化
分區(qū)對位
高精度、高對準
多種漲縮對位模式
兼容超大尺寸
設(shè)備參數(shù)
最小線寬/距:12/12μm
產(chǎn)能:540面/小時@拼板
最大板尺寸:24.8"*28.8"
對位精度:±10μm
層間對位精度:20μm
線寬均勻性:±10%
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