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技術(shù)特點(diǎn)
高產(chǎn)能、高良率
一次曝光成像
分區(qū)對位
高精度、高對準(zhǔn)
多種漲縮對位模式
支持二拼、四拼
設(shè)備參數(shù)
最小開窗:100μm
最小焊橋:50μm
對位精度:±12μm
產(chǎn)能:5面/分鐘
最大板尺寸:24.8"*28.8"
能量均勻性:≥95%
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