產(chǎn)品中心
RS30pro
- 應(yīng)用領(lǐng)域：高多層、單/雙面板
適用制程：內(nèi)、外層
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技術(shù)特點(diǎn)
- 高產(chǎn)能、高良率
一次曝光成像
分區(qū)對位
高精度、高對準(zhǔn)
多種漲縮對位模式
可配全自動連線
設(shè)備參數(shù)
- 最小線寬/距：30/30μm
產(chǎn)能：480片/小時
最大板尺寸：24.8"*28.8"
對位精度：±12μm
層間對位精度：24μm
線寬均勻性：±10%
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